林雪把晶圆递过来。
赵四对着光看。线条很粗糙,有的地方宽,有的地方窄,但连续性是好的。
“能蚀刻吗?”
“试了,能。”林雪说,“但蚀刻后的线条更难看,而且有钻蚀现象。”
“先不管美观。”赵四放下晶圆,“用这个胶,做一片完整的芯片,从开始到结束,全过程走一遍。看最终能不能出管芯,能不能测试。”
“现在?”
“现在。”
整个车间都动员起来。这是第一次用自制光刻胶走完整流程,每个人都紧张。
涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、蚀刻……一步接着一步。王技术员全程跟着,脸色煞白,手都在抖。
赵四没催她,只是站在旁边看。
蚀刻完成时,天已经黑了。硅片上传质层上,出现了歪歪扭扭但完整的电路图案。
“成了!”有人小声说。
“还没完。”陈启明很冷静,“还有扩散、离子注入、金属化、划片、封装、测试。差一步都不算成。”
但他眼里有光。
夜里十点,第一片用自制光刻胶制作的管芯终于出来了。丑得让人不忍直视,但毕竟是完整的。
测试台前围满了人。张卫东把管芯夹在探针台上,接通测试仪。
“上电。”
指示灯亮了。
“测电源电流。”
“正常。”
“测基本功能……”
一项项测下来。虽然性能参数惨不忍睹。速度只有设计值的三分之一,功耗却高了一倍,但所有基本功能都实现了。这是一个能工作的、虽然很烂的4位处理器核。
当最后一项测试通过时,车间里爆发出欢呼声。
“成了!真成了!”
“土胶也能造芯片!”
王技术员一屁股坐在地上,眼泪刷地流下来。她五十多岁的人了,哭得像个孩子。
赵四走过去,扶她起来:“王工,辛苦了。”
“不辛苦……不辛苦……”王技术员抹着眼泪,“我就是……就是没想到,真能行……”
“这只是第一步。”赵四说,“胶的性能还得优化。但至少证明,路走得通。”
他转向所有人:“同志们,今天咱们证明了,没有进口光刻胶,咱们也能造芯片!用土办法,用笨办法,但能造出来!”
“但这胶太差了。”陈启明实话实说,
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